基本配置
- 不同的设备取决于部件以及选配件的不同
- 腔体容积: 1.9-6L
- 电源: 230 V AC 台式设备,
 400 V AC / 3 站立式设备
气体供应
- 针阀
- MFC流量控制器
等离子腔体
- 不锈钢
圆柱形带腔门盖
 (约. Ø 100 mm, L 278 mm 或者 L 600 mm) 或者
矩形带铰链门
 (约. W 103 mm x H 103 mm x D 285 mm 或者 600 mm)
- 铝
圆柱形带腔门盖或者带铰链门
 (约. 内 Ø 95 mm, 开口 Ø 90 mm,
 L 280 mm 或者 L 600 mm)
- 石英玻璃（超高功率）
圆柱形带腔门盖或者带铰链门
 (约. 内 Ø 95 mm, 开口 Ø 90 mm,
 L 280 mm 或者 L 600 mm)
- 高硼硅玻璃 （超高功率）
圆柱形带腔门盖或者带铰链门
约. 内 Ø 95 mm, 开口 Ø 90 mm,
 L 280 mm 或者 L 600 mm)
加配
托盘 (选配: 水冷), 石英舟,
动力滚筒, 大批量材料滚筒,
铝制平板托盘,不锈钢平板托盘,
高硼硅玻璃平板托盘, 石英玻璃平板托盘
电极
- 一级或多级电极
- RIE电极
控制
- 半自动控制
- PCCE控制(Microsoft Windows CE)
- PC控制 (Microsoft Windows XPE)
定时器
- 数字式
发生器
- 频率: 40 kHz: Power 0 - 100 W
 13.56 MHz: Power 0 - 50 W; 0 - 300 W
 2.45 GHz: Power 0 - 100 W; 0 - 300 W
所有发生器都是从 0 - 100 %无级可调
真空泵
- 不同的大小来自不同的生产商
（如需要可以加配活性碳过滤器）