H a r r i c k 基 本 型 参 数
◆ 主要特征：
台式设计，结构紧凑精致
低、中、高三档可调节功率，最大可为18W
设备辐射小，安全环保
◆ 外形尺寸：
8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）
◆ 重量：6.0kg
◆ 输入电源：220 V／50Hz
◆ 输入功率：100 W
◆ 功率档：
低档680V DC、10mA DC、6.8W
中档700V DC、15mA DC、10.5W
高档720V DC、25mA DC、18W
◆ 常用工作气体：
空气、氩气、氮气或混合气体等
◆ 基本配置：
直径3英寸，长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
可拆卸舱盖。
最大为18W的RF线圈。
1/8英寸NPT针阀
1/8英寸NPT三通阀
◆ 选配件：
石英等离子清洗舱
石英托盘（用于放置样品）
气体计量混合器Plasma FloTM
◆ 周边设备：
基本型专用真空泵（PDC-VPE-2）
H a r r i c k 基 本 型 可 选 配 置
◆ 选件一：气体计量混合器PlasmaFloTM
功能及配置简介：
1、Harrick PlasmaFloTM气体计量混合器是一台可任选的以满
足客户的不同需求的备件。主要应用于样品的表面改性。
2、在等离子清洗过程中气体流混合和压力监视。
3、为向舱内注入两种气体提供了可能。
4、含两个标准的气体流量计(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、温差电偶真空度表测量舱内压力
6、适用气体：空气、氮气、氩气或混合气体。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、订货号：PDC-FMG-2
◆ 选件二：真空泵
Harrick等离子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，压力为
200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供两种可选型号：
1、PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
极限压力(气镇关)：1.5 mTorr
极限压力(气镇开)：23 mTorr
电机功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
极限压力(气镇关): 7.5 mTorr
极限压力(气镇开: 150 mTorr
电机功率(50/60 Hz): 373 W
重量: 27 lbs
尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"
◆ 选件三：石英等离子清洗舱及托盘