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URE-2000A型光刻机
    发布时间: 2017-11-24 18:01    
URE-2000A型光刻机

1.技术参数


l  曝光面积:150mmX150mm

l  曝光波长:365nm

l  分辨力:0.8-1mm(胶厚2 mm的正胶)

l  对准精度:±0. 6mm

l  掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

l  掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

l  样片尺寸:直径f15mm-- f150mm(各种不规则片)

               厚度0.1mm--5mm(可拓展至15mm)

l  曝光方式:定时(倒计时方式),0.1s-9999s

l  具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

l  照明不均匀性: 2.5%f100mm 范围)

               5%f150mm范围)

l  双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800

物镜三对:4倍、10倍、20

目镜三对:10倍、16倍、20

l  调平接触压力通过传感器保证重复

l  数字设定对准间隙和曝光间隙

l  具备压印模块接口,也具备接近模块接口

l  掩模相对于样片运动行程:

     X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q±6

l  最大胶厚:500mm(SU8)

l  光源平行性:2°

l  曝光能量密度:>18mW/cm2

l  冷却方式:循环水+风冷

l  曝光面温度:<30°C

l  汞灯功率:1000W(直流,进口


 

2.外形尺寸:1400mm(长)´1200mm() ´1950mm(高)

3.配置


1)曝光头


l  冷光椭球镜

l  1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)

l  XYZ汞灯调节台

l  冷却风扇

l  光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(109个透镜)、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

l  循环水冷系统


2)对准工件台


l  掩模样片整体运动台

l  掩模样片相对运动台

l  转动台

l  样片调平机构,自动完成

l  样片调焦机构,自动调

l  承片台4个(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸)

l  掩模夹4个(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸)

l  基片抽拉式上下片机构


3)对准显微镜


l  光源(配备品2只)、电源

l  双目双视场对准显微镜主体

l  目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

l  物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)


4CCD对准系统(选配)


l  光源(配备品3只)、电源

l  成像光学系统(两套)

l  数据采集卡                                    

l  三维工件台(两套)

l  CCD2只)


5)电控系统


l  汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

l  单片机控制系统

l  控制柜桌

l  计算机系统及液晶显示器


6)气动系统


l  气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l  电磁阀驱动

l  气动仪表


7)其他附件


l  真空泵一台(无油泵)

l  空压机一台(静音泵)


l  管道


8)技术资料


l  使用维修说明书

l  显微镜使用说明书