型号 ： KW-5
转速 ： 500-5000 RPM
转速稳定性 ： <±1%
旋涂均匀性 ： <5%
基片尺寸 ： Φ100-Φ200mm 圆片，最大 200×200mm 2 方片
整机尺寸（mm 3 ）：500×500×460
电机功率 ： 180W
适应材料 ： 硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等各种材料
特殊夹具定制 ：20 年特殊夹具设计经验，完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品
旋涂时间 ： 单步工艺 0-60s，满足绝大多数客户需求。特殊可定制
抽气速率 ： >60L/min
质量保证 ： 中科院微电子所独家设计制造，通过 ISO9000 质量体系认证
