◆ 基本配置：
 直径6英寸，长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
 可拆卸舱盖。
 含磁力锁和可视窗的铰链舱盖。
 最大为30W的RF线圈。
 1/8英寸NPT针阀
 1/8英寸NPT三通阀
◆ 选配件：
 石英等离子清洗舱
 石英托盘（用于放置样品）
 气体计量混合器Plasma FloTM
◆ 周边设备：
 基本型专用真空泵（PDC-VPE-2）
◆ 选件一：气体计量混合器PlasmaFloTM
功能及配置简介：
1、Harrick PlasmaFloTM气体计量混合器是一台可任选的以满
足客户的不同需求的备件。主要应用于样品的表面改性。
2、在等离子清洗过程中气体流混合和压力监视。
3、为向舱内注入两种气体提供了可能。
4、含两个标准的气体流量计(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、温差电偶真空度表测量舱内压力
6、适用气体：空气、氮气、氩气或混合气体。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、订货号：PDC-FMG-2
◆ 选件二：真空泵
Harrick等离子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，压力为
200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供两种可选型号：
 1、PDC-VP-2 (220V)
 抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
 极限压力(气镇关)：1.5 mTorr
 极限压力(气镇开)：23 mTorr
 电机功率：(50/60 Hz): 250/300 W
 重量: 34 lbs
 尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
 2、PDC-VPE-2 (220V)
 抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
 极限压力(气镇关): 7.5 mTorr
 极限压力(气镇开: 150 mTorr
 电机功率(50/60 Hz): 373 W
 重量: 27 lbs
 尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"
◆ 选件三：石英等离子清洗舱及托盘