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KW-5型 匀胶机
    发布时间: 2017-12-01 17:49    

广泛应用于半导体，集成电路，材料，微光学，生命科学，凝聚态物理，化学等科学研究与生产。可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。


KW-5型 匀胶机
型号 ：  KW-5
转速 ：  500-5000 RPM
转速稳定性 ： <±1%
旋涂均匀性 ： <5%
基片尺寸 ： Φ100-Φ200mm 圆片，最大 200×200mm 2 方片
整机尺寸（mm 3 ）：500×500×460
电机功率 ： 180W
适应材料 ： 硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等各种材料
特殊夹具定制 ：20 年特殊夹具设计经验，完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品
旋涂时间 ： 单步工艺 0-60s，满足绝大多数客户需求。特殊可定制
抽气速率 ： >60L/min
质量保证 ： 中科院微电子所独家设计制造，通过 ISO9000 质量体系认证