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薄胶
    发布时间: 2017-11-21 10:00    
薄胶
型号 光源 类型 分辨率 厚度(um) 适用范围
S18xx系列 g-Line 正性 0.5um 0.4-3.5 最常用的薄光刻胶,分辨率高,稳定可靠。
SPR955系列 i-Line 正性 0.35um 0.7-1.6 进口高分辨率(0.35um)光刻胶,稳定可靠。
BCI-3511 i-Line 正性 0.35um 0.5-2 国产0.35um光刻胶,已经在量产单位规模使用。
NRD6015 248nm 负性 0.2um 0.7-1.3 国产深紫外光刻胶,已经在量产单位规模使用。