1．技术参数

l   曝光面积：100mmX100mm

l   曝光波长：365nm

l   分辨力：0.8mm（胶厚2mm的正胶）

l   对准精度：±0.6mm

l   掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

l   掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l   样片尺寸：直径f15mm-- f100mm（各种不规则片）

厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

l   曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

l   具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

l   照明不均匀性： 2.5%（f100mm 范围）

l   双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜3对：4倍、10倍、20倍；     目镜3对：10倍、16倍、20倍

l   调平接触压力通过传感器保证重复

l   数字设定对准间隙和曝光间隙

l   具备压印模块接口，也具备接近模块接口

l   掩模相对于样片运动行程：   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l   最大焦厚：600mm（SU8胶，用户提供检测条件）

l   光源平行度：2º

l   曝光能量密度：>20mW/cm

l   汞灯功率：1000W（直流，进口）

2．外形尺寸：1400mm（长）´1200mm(宽) ´1950mm（高）

3．配置

（1）曝光头

l   冷光椭球镜

l   XYZ汞灯调节台

l   冷却风扇

l   1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

l   光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（109个透镜）、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2

（2）对准工件台

l   掩模样片整体运动台

l   掩模样片相对运动台

l   转动台

l   样片调平机构,自动完成

l   样片自动调焦机构

l   承片台4个（f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）

l   掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

l   基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜及CCD对准系统

l   光源、电源

l   双目双视场对准显微镜主体

l   目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

l   物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

l   CCD

l   21英寸液晶显示器

（4）电控系统

l   汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

l   单片机控制系统

l   控制柜桌

（5）气动系统

l   气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l   电磁阀驱动

l   气动仪

（6）其他附件

l   真空泵一台（无油泵）

l   空压机一台（静音泵）

l   管道