1．技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）

采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。

 

2．技术参数

l   曝光面积：6英寸

l   曝光波长：365nm

l   分辨力：1-1.2mm（胶厚2 mm的正胶）

l   对准精度：±0.8mm

l   掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

l   掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

l   样片尺寸：直径f15mm-- f150mm（各种不规则片）                

          厚度0.1mm--6mm

l   曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

l   具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

l   照明不均匀性： 6%（f150mm 范围）

l   双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

l   调平接触压力通过传感器保证重复

l   数字设定对准间隙和曝光间隙

l   具备压印模块接口，也具备接近模块接口

l   掩模相对于样片运动行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6º

l   最大焦厚：350mm（SU8胶，用户提供检测条件）

l   光源平行性：3.5 º

l   曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面温度<35 º

l   单层曝光一键完成

l   采用球气浮自动找平

l   汞灯功率：350W（直流，进口）

 

3．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1750mm（高）

4．配置

（1）曝光头

l   冷光椭球镜

l   350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

l   XYZ汞灯调节台

l   冷却风扇

l   光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2

（2）对准工件台

l   掩模样片整体运动台

l   掩模样片相对运动台

l   转动台

l   样片调平机构,三点自动完成

l   样片调焦机构，电机自动调

l   基片抽拉式上下机构

l   承片台4个：f15mm 、3英寸、4英寸、6英寸（可按用户要求增减）

l   掩模夹4个：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸（可按用户要求增减）

（3）对准显微镜

l   光源（配备品2只）、 电源

l   双目双视场对准显微镜主体

l   目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

l   物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

l   CCD对准系统，21寸液晶显示器

（4）电控系统

l   汞灯触发电源(350W直流汞灯)

l   单片机控制系统

l   控制柜桌

（5）气动系统

l   气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l   电磁阀驱动

l   气动仪表

（6）其他附件