1．技术参数

l          曝光面积：4英寸

l          曝光波长：365nm

l          分辨力：1.2mm（胶厚2 mm的正胶）

l          对准精度：±0.8mm

l          掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

l          掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l          样片尺寸：直径f15mm-- f100mm(各种不规则片)

          厚度0.1mm--6mm

l          曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

l          照明不均匀性： 3%（ f100mm  范围）

l          双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：4倍、10倍、20倍

l          掩模相对于样片运动行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6º

l          最大焦厚：350mm（SU8胶，用户提供检测条件）    

l          光源平行性：3.5 º

l          曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º

l          汞灯功率：350W（直流，进口）

2．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1750mm（高）

3．配置

（1）曝光头

l          冷光椭球镜

l          350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

l          XYZ汞灯调节台

l          冷却风扇

l          光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

（2）对准工件台

l          掩模样片整体运动台

l          掩模样片相对运动台

l          转动台

l          样片调平机构, 手动

l          样片调焦机构，手动

l          承片台3个（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）

l          掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

l          基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

l          光源（配备品2只）、   电源

l          双目双视场对准显微镜主体

l          目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

l          CCD及21英寸液晶显示器

l          物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

（4）电控系统

l          汞灯触发电源(350W直流汞灯)

l          单片机控制系统

l          控制箱

（5）气动系统

l          气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l          电磁阀驱动

l          气动仪表

（6）其他附件

l          真空泵一台

l          空压机一台

l          管道

（7）技术资料