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URE-2000/17型光刻机
    发布时间: 2017-11-30 23:44    
URE-2000/17型光刻机

1.技术参数


l          曝光面积:4英寸

l          曝光波长:365nm

l          分辨力:1.5mm(胶厚2 mm的正胶)

l          对准精度:±1mm

l          掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

l          掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l          样片尺寸:直径f15mm-- f100mm

               厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

l          曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

l          照明不均匀性: 5%f100mm 范围)

l          双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800

物镜三对:4倍、10倍、20

目镜三对:10倍、16倍、20

l          掩模相对于样片运动行程:

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q±6

l          汞灯功率:200W(直流)

l        曝光能量密度:6mW/cm

2.外形尺寸:650mm(长)´600mm() ´900mm(高)

3.配置


1)曝光头


l          200W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

l          XYZ汞灯调节台

l          光学系统

l          冷却风扇


2)对准工件台


l          掩模样片整体运动台

l          掩模样片相对运动台

l          转动台

l          样片调平机构,手动

l          样片调焦机构,手动

l          承片台3个(f50mm Ø75mm Ø100mm 

l          掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

l          掩模抽拉式上下机构


3)对准显微镜


l          光源(配备品2只)、电源

l          双目双视场对准显微镜主体

l          目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

l          物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

l          CCD(台湾)

l          21寸液晶显示器


4)电控系统


l          汞灯触发电源(200W直流汞灯)

l          单片机控制系统

l          控制机箱


5)气动系统


l          气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l          电磁阀驱动

l          气动仪表


6)其他附件


l          真空泵一台

l          管道


7)技术资料


l          使用维修说明书

l          显微镜使用说明书